臺式電鏡能譜一體機(jī)(Scanning Electron Microscope with Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，簡稱SEM-EDXS)是一種用于物質(zhì)結(jié)構(gòu)表征和化學(xué)成分分析的先進(jìn)分析儀器。它結(jié)合了掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)和能譜儀(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer，EDXS)的功能，可以在微觀尺度下觀察樣品表面形貌和表征其元素成分。
掃描電子顯微鏡利用電子束和樣品的相互作用產(chǎn)生的信號來觀察和分析樣品表面形貌的儀器。SEM的工作原理基于電子束與樣品之間的相互作用，當(dāng)電子束照射到樣品表面時，會與樣品中的原子和分子發(fā)生相互作用，從而產(chǎn)生多種信號。電子束的掃描可以得到樣品表面的圖像，并通過對信號的檢測和處理，獲得關(guān)于樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu)等信息。
能譜儀是用于分析樣品化學(xué)成分的儀器。它利用X射線與樣品中的原子相互作用產(chǎn)生的特征X射線能譜來確定樣品的元素成分。在SEM-EDXS中，EDXS探測器位于SEM的側(cè)壁，可以同時接收到電子顯微鏡所產(chǎn)生的激發(fā)X射線。當(dāng)電子束照射樣品表面時，樣品中的原子被激發(fā)產(chǎn)生特征X射線，這些X射線的能量和強(qiáng)度與樣品中的元素成分有關(guān)。EDXS探測器可以將這些X射線轉(zhuǎn)換為電信號，并通過能譜儀對信號進(jìn)行處理和分析，從而確定樣品的元素成分和分布情況。
臺式電鏡能譜一體機(jī)的應(yīng)用：
1.材料科學(xué)研究：用于觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)，分析材料的成分、相態(tài)和晶體結(jié)構(gòu)。
2.生物學(xué)研究：用于觀察生物樣品的細(xì)胞結(jié)構(gòu)和組織構(gòu)造，分析生物樣品中的元素成分。
3.納米科學(xué)研究：用于觀察納米材料的形貌和結(jié)構(gòu)，分析納米材料的成分和表面特性。
4.環(huán)境監(jiān)測：用于分析環(huán)境中的微粒物質(zhì)的成分，例如大氣中的顆粒物和水中的污染物。
5.失效分析：用于觀察故障材料的微觀結(jié)構(gòu)，分析故障原因和機(jī)理。
6.工業(yè)質(zhì)量控制：用于分析材料中的元素成分，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。
