全自動掃描電鏡是一種顯微分析設備，它通過電子束掃描樣品表面，產生高分辨率的圖像。這種設備廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等領域，為科研人員提供了一種非破壞性的分析手段。
1.工作原理：利用電子束在樣品表面進行掃描，通過檢測二次電子和背散射電子的信號，生成高分辨率的圖像。電子束由電子槍產生，經過電磁透鏡聚焦，然后在樣品表面進行掃描。掃描過程中，電子與樣品相互作用，產生二次電子和背散射電子，這些信號被探測器接收并轉換成圖像。
2.主要組成部分：全自動掃描電鏡主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室、探測器、信號處理系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)等部分組成。電子槍產生電子束，電磁透鏡對電子束進行聚焦和偏轉，掃描線圈控制電子束在樣品表面的掃描路徑，樣品室用于放置和調整樣品，探測器接收二次電子和背散射電子信號，信號處理系統(tǒng)將信號轉換成圖像，計算機控制系統(tǒng)實現設備的自動化操作。
3.分辨率：分辨率是指能夠分辨出兩個相鄰點的距離。分辨率受到電子束直徑、探測器性能和樣品本身性質等因素的影響。一般來說，分辨率可以達到納米級別，甚至更高。
4.放大倍數：全自動掃描電鏡的放大倍數是指圖像中樣品的實際尺寸與顯示器上顯示的尺寸之比。放大倍數可以通過調整電磁透鏡的聚焦電流來實現。放大倍數范圍很廣，從幾十倍到幾十萬倍不等，可以滿足不同尺度的分析需求。
5.樣品制備：對樣品的要求較高，需要樣品具有良好的導電性和較高的穩(wěn)定性。對于非導電樣品，需要進行噴金或碳膜鍍層處理，以提高其導電性。此外，樣品的尺寸和厚度也需要適中，以便于觀察和分析。
6.應用領域：全自動掃描電鏡廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等領域。在材料科學領域，可以用于分析材料的微觀結構、形貌和成分；在生物學領域，可以用于研究細胞和組織的形態(tài)和功能；在地質學領域，可以用于分析礦物的成分和結構。此外，還可以用于半導體、納米技術、環(huán)境科學等領域的研究。
