自動(dòng)拼圖軟件（AIM）在SEM大景深樣品拍攝中的應(yīng)用

圖1 自動(dòng)拼圖軟件界面

自動(dòng)拼圖（Automated Image Mapping）軟件（圖1）選件是飛納電鏡的又一功能強(qiáng)大的實(shí)用軟件。其主要優(yōu)勢總結(jié)如下：

• 大范圍內(nèi)自動(dòng)收集多張圖片
• 生成大面積視野的圖片
• 自動(dòng)生成高分辨率、高清晰度大圖
• 操作簡單，“選擇區(qū)域”然后“掃描”即完成

以下舉例說明其各個(gè)優(yōu)勢及其應(yīng)用場合：

• 大范圍多張圖片的收集對(duì)于ParticleMetric顆粒系統(tǒng)、PoroMetric 孔洞系統(tǒng)的作用

下圖2(a) 是顆粒樣品的AIM拼圖結(jié)果，這張圖的分辨率達(dá)到了9631×6683，占用空間達(dá)到了31.8Mb，采用70張圖拼成，單張圖片的效果見圖2(b)。此圖只需要選好區(qū)域之后，軟件自動(dòng)生成即可。顆粒系統(tǒng)和孔洞系統(tǒng)軟件可以把 AIM 的結(jié)果全部導(dǎo)入，一次zui多自動(dòng)處理1000張圖片，統(tǒng)計(jì)顆粒或孔洞的的直徑、圓度等數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告。

(a)

(b)

圖2 (a) 自動(dòng)拼圖軟件結(jié)果 (b)拼圖中捕捉到的單張圖片

• 大面積視野的圖片對(duì)于尋找目標(biāo)特征點(diǎn)的意義

圖3 尋找大視野范圍的特征物

圖3所示為珊瑚砂樣品，為了尋找其中的特征物，我們對(duì)可能存在的局部進(jìn)行了自動(dòng)拼圖，完成后結(jié)果一目了然，即可輕易地辨認(rèn)其中的海洋生物化石。同樣的功能也可以應(yīng)用在雜質(zhì)的尋找方面，公司的產(chǎn)品質(zhì)控部門往往需要找到雜質(zhì)的位置，而微觀的雜質(zhì)尋找需要耗費(fèi)大量的人力，有了AIM軟件，便不需要借助光學(xué)顯微鏡數(shù)小時(shí)的尋找，只需選擇目標(biāo)區(qū)域，軟件自動(dòng)找尋。

• 高分辨高清大圖對(duì)于大景深樣品拍照的作用

(a)

(b)

圖4 金屬斷口樣品的AIM拼圖結(jié)果 (a) AIM拼圖界面 (b) 局部的單圖

圖4 中顯示了AIM在斷口類大景深樣品中的應(yīng)用，由于AIM的跟蹤對(duì)焦功能和跟蹤自動(dòng)亮度對(duì)比度功能，可以實(shí)現(xiàn)樣品在凹凸起伏較大的情況下，不同的局部不同的焦距，zui終使樣品在大圖中的各個(gè)位置均非常清楚。這樣就有效避免了電鏡拍攝時(shí)“大景深模式“帶來的清晰度損失，以及景深過大導(dǎo)致的“局部清晰、局部模糊”的情況。

圖5 自動(dòng)拼圖軟件工作原理示意圖

圖5 是AIM自動(dòng)拼圖軟件跟蹤對(duì)焦(Follow Focus)的工作原理示意圖，可以清晰地看到，當(dāng)樣品表面高低起伏時(shí)，BSD探頭可以根據(jù)焦距的變化自動(dòng)優(yōu)化焦距和亮度對(duì)比度，從位置1移動(dòng)到位置2的過程中，不需要人為干預(yù)，自動(dòng)給出*清晰度和顯示效果的圖片。在每張小圖都可以獲得*分辨率的前提下，zui終拼出來的大圖效果才會(huì)是、*、高清大圖。

zui后，不得不提的是，作為一款如此精品的軟件，價(jià)格卻是0元，*免費(fèi)！只要配備了prosuite軟件套裝里的其他任何一款軟件，本軟件免費(fèi)贈(zèng)送。